熱測定器／システム

EMC関連製品・ノイズ対策部品情報

メーカ名	株式会社ベテル
取扱店
型名／シリーズ	サーマルマイクロスコープ　TM3B
測定モード	熱物性分布測定（1次元・2次元・1点）
測定項目	熱浸透率、（体積熱容量）、（熱伝導率）
検出光スポット径	約3µm
1点測定標準時間	10秒
測定対象薄膜	厚さ数百nm～数十µm
繰り返し精度	パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10％未満
試料	・試料ホルダサイズ：30mm×30mm 厚さ：5mm以内（試料表面の鏡面研磨が必要です。） ・板状試料：30mm×30mm以内 厚さ：3mm以内（試料表面Mo薄膜の成膜が必要です。）
使用温度範囲	24℃±1℃（装置内蔵温度センサーによる。）
ステージ移動距離	X方向：20mm Y方向：20mm Z方向： 4mm
電源	AC100V-1.5kVA

• 本表・項目名はCENDが独自に構成した物であり、いかなる理由においても全部または一部の無断利用・転載を禁止します。

企業詳細情報

会社名	株式会社ベテル
所在地	〒300-0037 茨城県土浦市桜町4丁目3-18　土浦ブリックビル1階
問合せ先	ハドソン研究所野口 TEL：0298252620 FAX：0293078451