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【ターンテーブル上に設置した試験配置例】
一般社団法人日本半導体製造装置協会(Semiconductor Equipment Association of Japan : 略称 SEAJ) は、半導体及びフラットパネルディスプレイ（FPD)及び太陽光発電（PV）製造装置関連企業を主な会員とする団体です。近年は韓国や台湾等の国々での半導体生産量の増加に伴い、装置メーカの輸出割合も大幅に増加しており、よりグローバルな活動を求められるようになりました。
海外輸出が増加するということは、EMC の観点からも海外の EMC 法規制を無視できない状況に置かれています。欧州の CE マーキングや韓国の KC マーク規制では、例え半導体製造装置であっても、クロック信号で機器の制御を受けるものであれば、EMC の法規制対象となり、それらの国へ出荷する際には法規制を遵守する必要があります。そこで SEAJ では2015 年度より「EMC・安全法規制専門委員会」を新規に発足し、EMC や安全に関わる海外法規制情報を共有、情報発信、啓蒙する事を目的に設立されました。
委員会活動では、EMC および安全に関わる法規制情報を委員会参加企業で情報を持ち合い、内容を議論し、必要な情報は SEAJ 会員に情報提供を行い、EMC・安全の法規制に抵触することの無いように、製品が出荷できるよう情報を発信する活動を行っています。昨年度は、新 EMC 指令が発令されたことから株式会社 UL Japan 様のご協力のもと、会員向けセミナーを実施し、新指令運用開始前に十分間に合うよう、SEAJ 会員企業に情報を発信しました。また頻繁に改訂される韓国 EMC 規制の公示、公告についての最新情報についてのセミナーも合わせて行い、延べ 100 名以上の会員企業の方にご聴講していただきました。
このように半導体製造装置においても EMC の法規制を遵守する義務がありますが、半導体製造装置は大型の製品が多く、その対応には難しいケースも多々あり、今回はその一部を紹介するものとします。
欧州において CE マーキング制度が始まってから20 年が経過し、CE マーキング導入前まで EMC 法規制とは無縁であった半導体製造装置業界でありましたが、欧州向けに出荷する製品には CE マーキングの対応が必要となり、各社 EMC の対応に追われることになりました。CE マーキングは、規制が開始される前「本当に EMC なんて対応しなければならないのか？」と、繰り返し質問された覚えがあります。
ヨーロッパ企業からは対応の要求を受け、私もその度に規制内容について社内で説明を行いました。それでも比較的 CE マーキングが早い段階で日本企業に受け入れられたのは、多くの欧州企業が理解し CE マーキングの内容を日本企業に対してアドバイスをしてくれたことが幸いしていたと思います。
続きは『月刊EMC No.348』にて
＜特集＞
◇スマートグリッド・コミュニティに関連するEMC問題
・電力線通信（PLC）の研究動向とSmart EMC
（愛媛大学 都築伸二）
・PHV/EV 用ワイヤレス電力伝送システムのEMC 技術開発
（トヨタ自動車（株） 森晃）
・家電情報機器向けワイヤレス電力伝送の動向とEMC 問題
（（株）東芝 尾林秀一）
＜Technology＞
・スイッチング回路のノイズ解析・シミュレーション技術
（キーサイト・テクノロジー（同） 高野修平）
・省エネを目指すLSI 設計とEMC
―スマートカード用暗号LSI を事例に回路レベルの観点から―
（岐阜大学 髙橋康宏）
＜Information＞
・半導体製造装置とEMC
（SEAJ EMC ・安全法規制専門委員会委員長 麻場智明）
＜規格・規制情報＞
・IEC 62040-2 Ed.3.0 概要解説
製品EMC 規格 無停電電源装置
（（一社）日本電機工業会 井上博史）
＜実践講座＞
・対策事例に学ぶパワーエレクトロニクスのノイズ対策①
規格試験適合のための手法Ⅰ（伝導ノイズ編）
（双信電機（株） 碓氷哲之）
・製品の信頼性を高めるLSI のEMC 設計④
用途別半導体集積回路の電磁両立性設計（２）
（ローム（株） 稲垣亮介）
・電源ノイズ解析と設計法④
容量負荷に接続された半波整流回路
（大阪大学 舟木剛）
・EMC測定・試験のポイント－1. 今更、人に聞けないEMC用語解説
エミッション測定関連用語④
擬似電源回路網（AMN）
（（株）e・オータマ 田路明）
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